[发明专利]一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法无效
| 申请号： | 201010581491.5 | 申请日： | 2010-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101988214A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 方青 | 申请（专利权）人： | 江苏润弛太阳能材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00;B28B1/26 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 212211 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，是先将高纯熔融石英原料进行湿法球磨造粒，再注入石膏模具，然后进行静置、脱模、干燥、烧结而成。本发明的熔融石英坩埚，其室温弯曲强度在17MPa以上，体积密度为1.85~1.98g/cm3，真密度为2.16~2.23g/cm3，线性膨胀系数为0.6×10-6/℃，气孔率为11%~14%；且坩埚的内部组织结构非常均匀，适当的气孔率既保证了坩埚的强度，又保证了很好的吸附性，提高了多晶硅铸锭的成品率；高纯熔融石英原料相对于石墨，可减少对多晶硅的污染、降低制造成本；能完全满足多晶硅铸锭的生产要求和规模化生产的需求，具有显著的市场价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 铸锭 熔融 石英 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括如下具体步骤：a) 将高纯熔融石英原料投入球磨机中进行湿法造粒，控制研磨后的料浆粒径在10 m ~50 m；b) 将上述料浆取出后充分搅拌，再转入浇注罐中注入石膏模具，在石膏模具中静置使其充分脱水成型，然后进行脱模；c) 脱模后在干燥炉内进行干燥，干燥温度控制在100~180℃；d) 将干燥后的熔融石英坩埚放入窑炉中进行烧结，烧结温度控制在1000~1300℃，烧结时间为14~24小时，烧结后即得本发明所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚。
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