[发明专利]振动片、振子、物理量传感器以及电子设备有效
| 申请号： | 201010583309.X | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102098022A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 西泽竜太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/21 | 分类号： | H03H9/21;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供降低了振动损失，在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有：基部(20)；从基部延伸的多个振动臂(40、50)，具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52)，至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44)，振动片具有：检测电极(71)，设于振动臂(40)的侧面(42)；检测电极(72)，设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置；检测电极(73)，设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 物理量 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；以及从所述基部延伸的多个振动臂，其具有彼此相对的第1主面和第2主面、以及连接所述第1主面和所述第2主面且彼此相对的第1侧面和第2侧面，所述多个振动臂中的至少一个振动臂的所述第1侧面具有从所述第1主面侧起设置的第1阶梯部和从所述第2主面侧起设置的第2阶梯部，该振动片具有：第1电极，其设于所述振动臂的所述第2侧面；第2电极，其设于所述第1阶梯部的与所述第1电极相对的位置；以及第3电极，其设于所述第2阶梯部的与所述第1电极相对的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010583309.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水性常温固化氟硅复合质感涂料
- 下一篇：一种书写便利无扬尘粉笔及其制备方法
