[发明专利]太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺无效

专利信息
申请号: 201010585223.0 申请日: 2010-12-13
公开(公告)号: CN102059750A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 郭红慧;刘涛;汪雨田;王聚安;范猛;孙红永;危晨;张雪囡;靳立辉;王岩;沈浩平 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 莫琪
地址: 300384 天津市南开*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种加工太阳能电池用硅片的钻石线锯的切割设备及工艺,采用的钻石线锯的切割设备包括一个位于两主槽轮间的导轮,钻石钢线通过的导轮导引过渡,从而达到减小其在切割过程中的抖动性,工艺包括:硅棒在切割过程中的钻石线锯张力为26~28N,硅棒在切割结尾处,即剩余1/8~1/10的切割行程,采用0.5~0.7mm/min的切割速度,本发明的方案不仅大大的提高了硅片加工产品产量,而且在硅片加工质量较好,同时消除传统切割方式即“裸钢线+磨料浆液”所带来的环境污染问题,具有实用和推广价值。
搜索关键词: 太阳能电池 硅片 钻石 切割 设备 工艺
【主权项】:
太阳能电池用硅片的钻石线切割设备,包括导轮部分,导轮部分中包括两个主槽轮,其特征在于,在两个主槽轮之间增加一个直径小于主槽轮的小槽轮,小槽轮的轮槽上端外径切线与两主槽轮的轮槽上端外径切线重合,保持在同一水平位置,小槽轮的槽形与两主槽轮的槽形相同,过小槽轮圆心的垂线到两个主槽轮圆心的距离相等,小槽轮作为导轮,用于导引通过两主槽轮间的钻石钢线,从而达到减小其在切割过程中的抖动性,使得该设备具备较好的钢线运行稳定性。
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