[发明专利]射频匹配方法及装置、等离子体设备

摘要

本发明公开了一种射频匹配方法及装置、等离子体设备，该方法包括：传感器模块获取射频电源的电压幅度检测值、电流幅度检测值和相位差检测值；根据电压幅度检测值、电流幅度检测值和相位差检测值获取传感器第一输出值，并根据电压幅度检测值获取传感器第二输出值，以及根据电流幅度检测值获取传感器第三输出值，并将传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值传送至控制模块；控制模块根据传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，获取射频匹配装置的输入阻抗，并根据输入阻抗，通过控制执行模块调整匹配网络的阻抗以匹配射频电源的输出阻抗。本发明简化了输入阻抗的运算类型和运算时间，提高了传感器的测量精度。

主权项

一种用于等离子体腔室的射频匹配方法，其特征在于，包括如下步骤：传感器模块获取射频电源的电压幅度检测值|V|′、电流幅度检测值|I|′和相位差检测值α′；根据所述电压幅度检测值|V|′、电流幅度检测值|I|′和相位差检测值α′获取传感器第一输出值，并根据所述电压幅度检测值|V|′获取传感器第二输出值，以及根据所述电流幅度检测值|I|′获取传感器第三输出值，并将所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值传送至控制模块；和所述控制模块根据所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，获取射频匹配装置的输入阻抗，并根据所述输入阻抗，通过控制执行模块调整匹配网络的阻抗以匹配射频电源的输出阻抗。