[发明专利]一种镍合金的电子背散射衍射样品的制备方法

摘要

本发明公开了属于电镜样品制备技术领域的一种镍合金的电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法。其工艺步骤为：粗磨、清洗、电解抛光、清洗。其中电解抛光液的配方为硫酸∶磷酸∶甲醇＝3～5∶0.8～1.2∶13～17(体积比)。本发明工艺简单，可以容易地制备镍合金EBSD样品，可在扫描电镜上获得清晰的EBSD取向成像图片。

主权项

一种镍合金的电子背散射衍射样品的制备方法，其特征在于，该方法包括以下具体工艺步骤：(1)粗磨：将镍合金的试样依次经过200#、400#、600#、800#、1000#、1500#和2000#的碳化硅水砂纸磨光，用水做润滑剂，每次所用不同号的砂纸粗磨的时间为2～8分钟，在研磨时每换一次砂纸要将镍合金的试样沿同一方向转动90度，将上一号的砂纸留下的划痕磨掉，并用显微镜观察镍合金的样品表面以确定研磨面状态，确认每道次研磨后试样表面的划痕均沿同一方向；(2)清洗：将粗磨好镍合金的试样放入清水中冲洗，再放入无水乙醇中清洗；然后吹干。(3)电解抛光：将镍合金的试样放入电解槽中使用恒电流模式进行抛光，电解抛光处理条件：1)以不锈钢板为阴极，镍合金的试样为阳极，以电解抛光液为导电解质，电解抛光液的温度为室温；2)电流密度为0.3A/cm2，抛光时间为50～60秒，所述的电解抛光液中的配方以体积比计，硫酸∶磷酸∶甲醇＝3～5∶0.8～1.2∶13～17，其中所使用的硫酸H2SO4质量百分比浓度为98％、磷酸H3PO4质量百分比浓度为85％、甲醇CH3OH体积比浓度为99.5％；(4)清洗：将电解抛光好的试样放入无水乙醇中清洗，然后吹干，得到用于电子背散射衍射观测的镍合金试样。