[发明专利]平板显示设备及其制造方法

摘要

公开平板显示设备及其制造方法。在实施例中，平板显示设备包括：i)第一基板，ii)形成在第一基板上方的有源层，其中有源层包括源区、漏区和沟道区，iii)形成在有源层上的栅极绝缘层，iv)形成在栅极绝缘层上并在有源层的沟道区上方的栅电极以及v)形成在栅极绝缘层和栅电极上的第一层间绝缘膜。该设备可进一步包括1)通过接触孔分别电连接至有源层的源区和漏区的源电极和漏电极，其中接触孔形成在第一层间绝缘膜和栅极绝缘层中，2)仅插入i)第一层间绝缘膜与ii)源电极和漏电极之间的第二层间绝缘膜，3)形成在第一层间绝缘膜以及源电极和漏电极上的平坦层以及4)通过形成在平坦层中的通孔电连接至源电极或漏电极的像素电极。

主权项

一种平板显示设备，包括：第一基板；形成在所述第一基板上方的有源层，其中所述有源层包括源区、漏区和沟道区；形成在所述有源层上的栅极绝缘层；栅电极，形成在所述栅极绝缘层上并且在所述有源层的沟道区上方；第一层间绝缘膜，形成在所述栅极绝缘层和所述栅电极上；源电极和漏电极，通过接触孔分别电连接至所述有源层的源区和漏区，其中所述接触孔形成在所述第一层间绝缘膜和所述栅极绝缘层中；第二层间绝缘膜，仅插入i)所述第一层间绝缘膜与ii)所述源电极和所述漏电极之间；平坦层，形成在所述第一层间绝缘膜以及所述源电极和所述漏电极上；以及像素电极，通过形成在所述平坦层中的通孔电连接至所述源电极或所述漏电极。