[发明专利]一种复合轨迹可调式磁电管

摘要

本发明涉及一种用于控制磁电管运动的机械装置，特别涉及一种复合轨迹可调式磁电管。该装置包括主旋转驱动组件、从旋转驱动组件和磁电管组件，采用一个主旋转电机和一个从旋转电机控制磁电管的复合运动，主旋转电机控制磁电管绕溅射靶轴心转动，从旋转电机控制磁铁组件实现轨迹可调式复合运动，磁电管组件中心点花瓣形运动轨迹，能实现磁场对溅射靶表面的全覆盖。在此基础上适当调整磁电管组件的扫描速度，则可以使得溅射靶表面磁场既有较高覆盖率，又有较高均匀性和较高刻蚀效率。

主权项

一种复合轨迹可调式磁电管，包括主旋转驱动组件(100)、从旋转驱动组件(200)和磁电管组件(300)，其特征在于，所述主旋转驱动组件(100)安装在PVD设备的上盖上，起到支撑从旋转驱动组件(200)和磁电管组件(300)且使其绕溅射靶轴心转动的作用；其具体结构为：钢轮(103)的内齿与柔轮(107)的外齿啮合，柔轮(107)内装有波发生器(113)；所述钢轮(103)由螺钉固定在减速器外壳(105)上，所述柔轮(107)通过柔轮定位销固定在中间内套(109)上，减速器外壳(105)经两个轴承与中间内套(109)构成转动副，即减速器外壳(105)、波发生器(113)、钢轮(103)、柔轮(107)、轴承、中间内套(109)、柔轮定位销和轴承端盖构成谐波减速器；直流伺服电机(102)输出轴的下端与所述波发生器(113)的内孔利用顶丝固定，作为旋转驱动的输入；中间内套(109)是主旋转驱动组件(100)的运动输出端，其下端悬挂变偏心距组件；所述从旋转驱动组件(200)安装在主旋转驱动组件(100)旋转运动的输出端，起到支撑磁电管组件(300)和实现轨迹可调式复合运动的作用；其结构为：下底板(206)的一端通过螺栓与主旋转驱动组件(100)连接，下底板(206)的中部设置内置编码器伺服电机(201)，下底板(206)的另一端设置与内置编码器伺服电机(201)输出端连接传动齿轮组，构成从旋转驱动组件(200)的输出端；所述磁电管组件(300)安装在从旋转驱动组件(200)的输出端，在溅射靶表面形成磁场，以提高溅射靶材利用率和被溅射材料表面沉积薄膜的质量；其具体结构为：内磁极(302)和外磁极(301)经螺钉固定在磁轭上，磁轭经螺栓固定在从旋转组件(200)的磁电管基座上；磁电管组件(300)随主旋转驱动组件(100)绕溅射靶轴心进行转动的同时，又随从旋转组件(200)进行旋转运动，两个运动的叠加实现复合运动。