[发明专利]一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201010591176.0 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102559056A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 庞可亮 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区龙*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，该抛光液含有水、研磨颗粒、氧化剂和去除速率促进剂；所述促进剂为一种或多种可溶性含钨化合物。本发明通过向抛光液中加入经优选的去除速率促进剂，可在提高GST（锗－锑－碲）合金去除速率的同时保持较低的SiO2去除速率，且使得抛光液对GST材料的静态腐蚀保持在较低的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 合金 相变 材料 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，其特征在于，包含水、研磨颗粒、氧化剂和去除速率促进剂；所述促进剂至少包括一种或多种可溶性含钨化合物。
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