[发明专利]常关态场发射型射频微机械开关无效
| 申请号： | 201010591238.8 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102064041A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;王立峰;唐洁影;韩磊;张晓兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关，低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜，其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖，两排金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔，使两排金属微尖处于悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可以获得较低的开关阈值电压。 | ||
| 搜索关键词： | 常关态场 发射 射频 微机 开关 | ||
【主权项】：
一种常关态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底（1），绝缘介质薄膜（2）、共面波导的信号线（5）和地线（3），信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线（3）及信号线（5）与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜（2），其特征在于两根信号线（5）相邻的端部各设有一排金属微尖（4），两排金属微尖（4）之间有间隔；低损耗衬底（1）与两排金属微尖（4）相对应的位置内凹形成一个空腔（6），使两排金属微尖（4）处于悬空状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010591238.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
