[发明专利]控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备有效
申请号: | 201010591792.6 | 申请日: | 2010-12-08 |
公开(公告)号: | CN102544190A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 杨斌 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/00;H01L21/677;C23C16/54 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 张天舒;陈源 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备,其中,传送装置包括传输料盒组件的平行设置的料盒输入传送带以及至少两个托起装置,至少两个所述托起装置沿所述料盒组件的传送方向排列设置在所述料盒输入传送带的下方;且所述托起装置用于升起以将所述料盒组件托离所述料盒输入传送带,或降下以将所述料盒组件放置于所述料盒输入传送带上。所述传送装置不仅可以提高工艺腔室内的洁净度,从而提高电池片的转化率,而且可以提高料盒载具与传送装置的使用寿命。所述太阳能电池片加工设备的电池片转化率高,运行成本低。 | ||
搜索关键词: | 控制 传送 方法 装置 以及 加工 设备 | ||
【主权项】:
一种控制传送的方法,其特征在于,包括:接收每一传感器所发送的上升控制信息,该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到;根据每一所述上升控制信息,控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升,以将该托起装置上的料盒组件装置托离所述料盒输入传送带;检测升降台是否准备完毕,若是,则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降,以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上;控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上,并对该料盒组件进行处理;并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降,以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上,并再次控制所述料盒输入传送带传动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的