[发明专利]一种p型高透射率（100）-取向的LaNiO3纳米薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及微电子与光电子材料领域，特别涉及一种p型高透射率（100）-取向的LaNiO3纳米导电薄膜的制备方法。采用以下步骤：按摩尔比1:1称取硝酸镧和硝酸镍作为溶质，溶剂水：乙醇：柠檬酸：聚乙二醇摩尔比为=200：200：2：1，溶液浓度为0.08～0.20mol/L；将前驱体溶液沉积在衬底材料上烘干，热处理：氧气气氛下从350℃以10℃/分钟的速率升温到450℃，450℃预处理10min，再以15℃/分钟的速率升温到600℃，在氮气气氛下退火20分钟，退火温度为600℃～650℃。提高了LaNiO3薄膜电极的表面均匀性和极化程度，(100)取向度高，表面粗糙度小，电阻率低，透射率高。

主权项

一种p型高透射率高（100）‑ 取向的LaNiO3薄膜的制备方法，其特征是采用以下步骤：（1）前驱体溶液的制备：采用溶胶凝胶法，按摩尔比1:1称取硝酸镧和硝酸镍作为溶质，溶于摩尔比1:1混合的水和乙醇中，加入柠檬酸和聚乙二醇，配制成前驱体溶液，溶剂摩尔比水：乙醇：柠檬酸：聚乙二醇为=200：200：2：1，溶液浓度为0.08～0.20mol/L； （2）LaNiO3薄膜材料的制备：采用层层退火工艺，先用旋转涂膜法将前驱体溶液沉积在衬底材料上，然后将材料放置在热板上烘干，将干燥的薄膜置于快速退火炉中热处理，热处理工艺特征在于：在氧气气氛下从350℃以10℃/分钟的速率升温到450℃，450℃预处理10min，再以15℃/分钟的速率升温到600℃，在氮气气氛下退火20分钟，退火温度为600℃～650℃，得到LaNiO3薄膜。