[发明专利]二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法

摘要

本发明涉及一种二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，属于光学材料应用领域。本发明所述的制备方法是将二氧化锗溶于碱性溶液生成前驱液，在前驱液中加入酸实现酸诱导均相液相沉积生长二氧化锗膜，并经过对二氧化锗膜进行致密化热处理制得，包括(1)制备二氧化锗沉积液；(2)生长二氧化锗膜；(3)二氧化锗膜的致密化热处理。本发明与化学气相沉积法相比所采用的前驱液稳定且合成成本低，反应温度低，反应条件较为温和且易于控制。与溶胶-凝胶法相比本发明中用二氧化锗与氨水反应生成的前驱体溶液在空气中稳定性好，能够长期保存，所使用的原料价格低廉，能够在石英玻璃管的内壁上制得厚度达到微米级的二氧化锗反射膜。

主权项

一种二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，其特征在于将二氧化锗溶于碱性溶液中生成前驱液，在前驱液中加入酸实现酸诱导均相液相沉积生长二氧化锗膜，并经过对二氧化锗膜进行致密化热处理制得，包括如下步骤：(1)制备二氧化锗沉积液：将二氧化锗粉末溶解到碱性溶液中，充分搅拌后得到二氧化锗质量浓度为1～12％的前驱液；用酸作诱导剂并将其加入到前驱液中搅拌混合均匀，得到二氧化锗沉积液；(2)生长二氧化锗膜：将二氧化锗沉积液注入石英玻璃管中，石英玻璃管支撑在支架上在转动状态下沉积20～240小时后在管内壁上生长出二氧化锗膜；(3)二氧化锗膜的致密化热处理：将内壁上有二氧化锗膜的石英玻璃管干燥后进行热处理致密化，制得二氧化锗空芯光波导。