[发明专利]具有顺向与反向耦合特性的波导耦合元件及其制造方法

摘要

本发明是有关于一种具有顺向与反向耦合特性的波导耦合元件及其制造方法。该具有顺向与反向耦合特性的波导耦合元件包括：一基层、至少一反向耦合层、一介质层、与至少一顺向耦合层，其中，该顺向耦合层的一端可与一外部光纤连接，以耦合光纤所传输的该光波，并且，经由顺向耦合层-该介质层-该反向耦合层的耦合顺序，光波可高效率地被耦合进入反向耦合层之中，并于局限于反向耦合层之内传递。此外，借由该制造方法可使用现有半导体工艺而低成本且大量地制造该具有顺向与反向耦合特性的波导耦合元件。

主权项

一种具有顺向与反向耦合特性的波导耦合元件，其特征在于，包括：一基层；至少一反向耦合层，形成于该基层之上，一光波可局限于该反向耦合层之内传递；一介质层，以包覆反向耦合层的方式形成于基层之上；以及至少一顺向耦合层，形成于该介质层之上，该顺向耦合层的一端可与一外部光纤连接，以耦合光纤所传输的该光波；其中，该介质层的折射系数相同于顺向耦合层的折射系数，使得光波于顺向耦合层内传递时，会将介质层与该顺向耦合层视为同一物质，故光波可无损耗地经由介质层被耦合进入该反向耦合层。