[发明专利]具氮化铝薄膜的热扩散元件及其制作方法无效
| 申请号： | 201010600737.9 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102479760A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 岑尚仁;林溥如;陈建亨 | 申请（专利权）人： | 岑尚仁 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种具氮化铝薄膜的热扩散元件及其制作方法，包含：一基板，基板的组成可为单一材质、多层结构、或复合材料；及一氮化铝薄膜，其设于该基板的表面，该氮化铝薄膜的厚度是介于1nm至10μm之间，而该氮化铝薄膜是作为热传输媒介；尤指将置于其上的发热元件所产生的热传输至基板，再经由基板将热传至散热鳍片。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 薄膜 扩散 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具氮化铝薄膜的热扩散元件，其特征在于，包括：一基板，其具有一上表面、及一下表面；以及一氮化铝薄膜，其设于该基板的该上表面上，该氮化铝薄膜的厚度是介于1nm至10μm之间，且该氮化铝薄膜是作为热传输媒介。
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