[发明专利]一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法有效

专利信息
申请号: 201010601924.9 申请日: 2010-12-23
公开(公告)号: CN102040223A 公开(公告)日: 2011-05-04
发明(设计)人: 郎丰平;邱顺恩;黄少辉;黄小明;李明生 申请(专利权)人: 江西嘉柏新材料有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 代理人: 杨建君
地址: 333311 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明涉及一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法,该方法包括:将硅粉加入到干燥器后,用140-160℃的干燥氮气干燥5-6个小时;控制系统控制将干燥后的硅粉与氯化氢按1∶3-1∶4的摩尔比送入合成炉;在合成炉内,硅粉和氯化氢进行气固相反应;合成炉的排出物经旋风分离器和硅尘过滤器除尘,将其中残存的硅尘回收,再送入合成气加压冷凝系统;将上述冷凝后的原料液送入精馏塔进行三级精馏,分离得纯度大于99.9%的三氯氢硅。本发明解决了现有技术中不能实现连续生产和副产物含量过高的技术问题,大大提高了装置生产效率、生产的安全稳定性及三氯氢硅的产率和纯度。
搜索关键词: 一种 连续 投加硅粉 生产 三氯氢硅 方法
【主权项】:
一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法,包括如下步骤:A、将硅粉加入到干燥器后,用140‑160℃的干燥氮气干燥5‑6个小时;B、控制系统结合三氯氢硅合成炉的产率和氯化氢的进料量控制给料装置向合成炉内送入干燥后的硅粉,实现全封闭化自动连续加料,所述的硅粉与氯化氢的摩尔比为1∶3‑1∶4;C、在合成炉内,硅粉和氯化氢进行气固相反应。
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