[发明专利]硅片清洗烘干器及多线切割中的断线硅片清洗烘干方法

摘要

本发明公开的硅片清洗烘干器，包括水箱内部设置有锥形过滤器，锥形过滤器出口依次通过阀门F2、管道泵与电动三通阀F4连通；电动三通阀F4另一个入口端与空气加热器连通，空气加热器的进气管上安装有阀门F6；喷淋槽内部设置有喷淋管，电动三通阀F4的出口端与喷淋管连通，电动三通阀F4与喷淋管之间的管路上安装有压力表和热电偶温度探头；管道泵、热电偶温度探头、空气加热器均与电气控制柜连接。本发明还公开了利用上述装置对多线切割中的断线硅片清洗烘干方法，依次进行对正定位、遮盖密封、喷淋清洗、加热烘干。本发明装置及方法提高了断线处理过程中的硅片清洗烘干的工作效率，提高了最终的成品率。

主权项

一种硅片清洗烘干器，其特征在于：包括水箱（1），水箱（1）上通过快速接头连接有软管，水箱（1）内部设置有锥形过滤器（2），锥形过滤器（2）的出口依次通过阀门F2、管道泵（3）与电动三通阀F4一个入口端连通；电动三通阀F4另一个入口端与空气加热器（8）连通，空气加热器（8）的进气管（9）上安装有阀门F6，进气管（9）与气源连通；喷淋槽（6）内部沿长度方向两侧设置有喷淋管（7），电动三通阀F4的出口端与喷淋管（7）连通，电动三通阀F4与喷淋管（7）之间的管路上安装有压力表（4）和热电偶温度探头（5）；管道泵（3）、电动三通阀F4、热电偶温度探头（5）、空气加热器（8）均与电气控制柜（12）连接。