[发明专利]三氯氢硅合成装置有效
| 申请号： | 201010602981.9 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102009980A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 郎丰平;邱顺恩;黄少辉;黄小明;李明生 | 申请（专利权）人： | 江西嘉柏新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 王明霞 |
| 地址： | 333311 江西省景*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三氯氢硅合成装置，包括合成炉筒体(3)，合成炉筒体(3)外部有加热部件，其特征是：加热部件包括加热花板(8)和电阻丝(7)，加热花板(8)为圆环片状，加热花板(8)设置在合成炉筒体(3)的外表面，加热花板(8)的环形表面上轴向密布有通孔(15)，通孔(15)形成与加热花板内圆周同心的三圈同心圆通孔带，通孔(15)上固定有中空绝缘磁筒(9)，电阻丝(7)在每个绝缘瓷筒(9)中心穿过。该合成装置升温迅速、控温准确、节约能源、便于操作，能显著提高三氯氢硅生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成装置，包括合成炉筒体(3)，合成炉筒体(3)外部有加热部件，其特征是：加热部件包括加热花板(8)和电阻丝(7)，加热花板(8)为圆环片状，加热花板(8)设置在合成炉筒体(3)的外表面，加热花板(8)的环形表面上轴向密布有通孔(15)，通孔(15)形成与加热花板内圆周同心的三圈同心圆通孔带，通孔(15)上固定有中空绝缘磁筒(9)，电阻丝(7)在每个绝缘瓷筒(9)中心穿过。
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