[发明专利]应用于真空制程的连续送料装置

摘要

一种应用于真空制程的连续送料装置，其于一本体两端分别设有供穿置料带的槽道，且于内部架设具有上、下滚轮的滚轮组，以供夹抵输送料带，该滚轮组与本体的槽道间设有密封机构，该密封机构设有上密封件和下密封件，该槽道的左、右侧方则分别设有侧密封件，并使该两侧密封件分别弹性贴抵上、下滚轮的端缘及上、下密封件的侧缘，以形成连接抽气装置的真空辅助腔室，而可装设于真空制程设备的输入端及输出端，以进行真空制程的连续输送料带；由此，其不仅可有效确保阻隔气体，以利进行料带的真空制程加工，且可使上、下密封件及侧密封件可与上、下滚轮保持适当的接抵压力，以减少磨耗，进而达到提升真空密闭性及使用寿命的实用效益。

主权项

一种应用于真空制程的连续送料装置，其特征在于，包含有：一本体，于两端分别设有槽道，以供穿置一料带；一滚轮组，架设于本体的内部，且设有供夹抵输送该料带的一上滚轮及一下滚轮；一密封机构，于该本体的槽道上方侧壁设有具有第一侧缘及第二侧缘的上密封件，并使该上密封件的第一侧缘能够弹性接抵该上滚轮的环面，该槽道的下方侧壁设有具有第一侧缘及第二侧缘的下密封件，并使该下密封件的第一侧缘能够弹性接抵该下滚轮的环面，该槽道的左、右侧方则分别设有侧密封件，并使该两侧密封件能够分别弹性贴抵上、下滚轮的端缘及上、下密封件的第二侧缘，以形成一真空辅助腔室。