[发明专利]压阻MEMS谐振器无效
| 申请号： | 201010604008.0 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102122934A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 格哈德·库普斯;约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压阻MEMS谐振器，包括：锚(12)、安装在锚上的谐振器(10)、安装的用于在谐振器上施加静电力的致动器(16)、以及包括与致动器耦接的纳米线(18)的压阻读出装置。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种压阻MEMS谐振器，包括：锚(12)；谐振器本体(10)，安装在锚上；致动器(16)，被安装用于在谐振器上施加静电力；以及压阻读出装置，包括耦接至谐振器的纳米线(18)，其中，谐振器本体具有至少100μm2的面积，纳米线具有至多10‑14m2的横截面。
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