[发明专利]加热控制方法、装置和系统，加热腔及等离子体设备

摘要

本发明提出一种加热腔的加热控制方法和装置，加热腔及等离子体设备。其中，加热控制方法包括：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并以所述初始加热温度启动对所述加热腔的加热。本发明实施例可在加热腔启动时首先判断加热腔是否处于冷却状态，且一旦判断加热腔处于冷却状态则降低设定温度，从而减小启动电流，避免对设备造成损害。

主权项

一种加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并控制加热装置以所述初始加热温度对所述加热腔进行加热。