[发明专利]一种双变密度盘的可变衰减器

摘要

本发明是一种双变密度盘的可变衰减器，该装置包括第一变密度盘、第二变密度盘、第一伺服电机、第二伺服电机、第一编码器、第二编码器、第一限位开关和第二限位开关，第一电机轴和第二电机轴，利用电机和编码器构成伺服控制系统，分别控制两片互补对称结构的变密度盘旋转，由两片变密度盘当前透过率共同实现对入射光束的定量衰减。本发明提出一种双变密度盘的互补对称结构，继承了传统可变衰减器对入射光束连续衰减特性，而且透过率细分精度极大提高，更突出的优点是，对比于单变密度盘的可变衰减器而言，这种双变密度盘的可变衰减器不会改变光束能量分布，从而不会增加入射光束能量不均匀性，保证入射光束衰减后质量，显示了特有的优势。

主权项

一种双变密度盘的可变衰减器，其特征在于：该装置包括第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)、第一伺服电机(2)和第二伺服电机(7)、第一电机轴(9)和第二电机轴(10)、第一编码器(1)和第二编码器(8)、第一限位开关(4)和第二限位开关(6)，第一变密度盘(3)与第二变密度盘(5)同轴且端面平行布置，第一变密度盘(3)上设置有第一限位开关(4)，第二变密度盘(5)上设置有第二限位开关(6)，所述的第一限位开关(4)和第二限位开关(6)分别布置在第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的全透光扇区中，第一伺服电机(2)的轴和第二伺服电机(7)的轴分别垂直于第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的端平面，所述第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)分别采用互补对称结构的变密度盘旋转，入射光通过第一变密度盘(3)后引起的能量不均匀性会被第二变密度盘(5)修正，同时第一变密度盘(3)的透过率会被第二变密度盘(5)细分，从而提高能量衰减分辨力。