[发明专利]一种晶体最佳匹配角自动测量系统和方法无效
申请号: | 201010606231.9 | 申请日: | 2010-12-27 |
公开(公告)号: | CN102095388A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 范勇;徐旭;王俊波;陈念年;张劲峰 | 申请(专利权)人: | 西南科技大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 621010 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶体最佳匹配角自动测量系统及其方法,包括光路子系统、运动控制子系统和数据处理子系统;光路子系统包括,脉冲激光器,分光镜A,分光镜B,反射镜A,潜望镜A,潜望镜B,反射镜B,分光镜C;运动控制子系统同时还用于控制被测晶体的旋转、潜望镜A和B中的反射镜的微角度驱动和同步二维扫描运动;所述数据处理子系统主要用于监测功率计A和B的功率计量读数、对通过CCD获取的激光光斑图像进行质量分析、对激光自准直仪A和晶体自准直仪B的准直数据进行采集。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 最佳 配角 自动 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种晶体最佳匹配角自动测量系统,其特征在于,包括,光路子系统、运动控制子系统和数据处理子系统;光路子系统包括,脉冲激光器,分光镜A,分光镜B,反射镜A,潜望镜A,潜望镜B,反射镜B,分光镜C,光路子系统原理为:在脉冲激光器发出激光后,由分光镜A将入射光束分为两束:一束入射到功率计A上;另一束光经过分光镜B和反射镜A后入射到潜望镜A,光束经过被测晶体后入射到潜望镜B上,经过潜望镜B反射后入射到放置在被测晶体后的功率计B上,潜望镜A和B由运动控制子系统驱动实现同步二维扫描运动,运动控制子系统同时还用于控制被测晶体的旋转、潜望镜A和B中的反射镜的微角度驱动;所述数据处理子系统主要用于监测功率计A和B的功率计量读数、对通过CCD获取的激光光斑图像进行质量分析、对激光自准直仪A和晶体自准直仪B的准直数据进行采集。
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