[发明专利]基板清洗/干燥设备及方法、包括该设备的基板处理设备

摘要

提供一种基板清洗/干燥设备及方法、包括该设备的基板处理设备。该基板清洗和干燥设备包括：第一基板传送单元，用以在基架的上部沿水平方向传送基板；第二基板传送单元，用以从第一基板传送单元接收所述基板，并沿垂直方向传送基板；第三基板传送单元，用以从第二基板传送单元接收基板，并在基架的下部沿水平方向传送基板；和基板处理单元，用以从第三基板传送单元接收基板，并对基板执行清洗和干燥工艺以清洗和干燥基板。第二基板传送单元包括可操作用以支撑基板的多个第一手叉。第三基板传送单元包括以固定间隔在水平方向上彼此平行地设置的多个第一辊架，并使得多个第一手叉能够沿垂直方向通过多个第一辊架。

主权项

一种基板清洗和干燥设备，包括：第一基板传送单元，其可操作用以在基架的上部沿水平方向传送基板；第二基板传送单元，其可操作用以从所述第一基板传送单元接收所述基板，并沿垂直方向传送所述基板；第三基板传送单元，其可操作用以从所述第二基板传送单元接收所述基板，并在所述基架的下部沿水平方向传送所述基板；和基板处理单元，其可操作用以从所述第三基板传送单元接收所述基板，并对所述基板执行清洗和干燥工艺以清洗和干燥所述基板，其中，所述第二基板传送单元包括可操作用以支撑所述基板的多个第一手叉，以及其中所述第三基板传送单元包括以固定间隔在水平方向上彼此平行地设置的多个第一辊架，并使得所述多个第一手叉能够沿垂直方向通过所述多个第一辊架。