[发明专利]一种纳米级微小位移测量装置无效
| 申请号： | 201010611080.6 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102538650A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 徐方;贾凯;褚明杰;杨奇峰 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量纳米级微小位移测量装置，包括时序及充电电路、传感电路、积分及放大电路、差分采样电路以及滤波电路，上述电路顺序电连接，其中：时序及充电电路，产生传感电路所需的充电脉冲及差分采样电路所需的时序信号；传感电路，接收微小位移信号，输出相应的微小电流信号至积分及放大电路；积分及放大电路，接收微小电流信号，输出电压信号至差分采样电路；差分采样电路，对积分及放大电路输入的电压信号进行差分处理；滤波电路，对经过差分处理后信号进行滤波处理，得到最后的检测信号。本发明可以通过较小的测量机构实现微小位移纳米级的测量，结构简单，成本低，性能稳定，灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 微小 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：包括时序及充电电路、传感电路、积分及放大电路、差分采样电路以及滤波电路，上述电路顺序电连接，其中：时序及充电电路，产生传感电路所需的充电脉冲及差分采样电路所需的时序信号；传感电路，接收微小位移信号，输出相应的微小电流信号至积分及放大电路；积分及放大电路，接收微小电流信号，输出电压信号至差分采样电路；差分采样电路，对积分及放大电路输入的电压信号进行差分处理；滤波电路，对经过差分处理后信号进行滤波处理，得到最后的检测信号。
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