[发明专利]适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置有效
申请号: | 201010614534.5 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN102080266A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 孙国飞;陈辉;张鹏铭;朱鑫峰;张玮;徐飞;吴建飞 | 申请(专利权)人: | 绍兴精功机电有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312028 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。它包括炉壁,设置在炉壁上的电热元件支承座,通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上,其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。本发明具有突出的实质性特点:电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,通过拆卸连接组件,可方便的拆下电热元件支承座进行更换,不再额外破坏原本完好的保温层,使得维修更换更为方便,且维修工程小、成本低。 | ||
搜索关键词: | 适用于 多晶 坩埚 烧结炉 电热 装置 | ||
【主权项】:
适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,包括炉壁(1),设置在炉壁(1)上的电热元件支承座(2),通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座(2)上,其特征在于电热元件支承座(2)的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴精功机电有限公司,未经绍兴精功机电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010614534.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。