[发明专利]一种模板图像获取方法

摘要

本发明的步进光刻机对准系统的模板图像获取方法，主要通过使用边框的初步裁剪过程和使用标靶的二次裁剪过程获取最终的标记模板图像。本发明获取的最终的标记模板图像的中心点位置与实标记中心点位置偏差较小，在1个象素点以内，在步进光刻机对准系统中使用该标记模板图像做匹配模板图像时，对准系统更能精确的获得标记位置，偏差也较小，仅为几个微米的误差，这样能够提高光刻机第一次工艺试验中对准的精度，并且减少工艺试验的次数，实现掩模和曝光对象之间的精确对准，提高工作效率。

主权项

一种模板图像获取方法，应用于光刻机对准系统，该光刻机对准系统包括摄像机；图像采集模块，电路连接所述摄像机，用以采集标记图像；控制计算机，电路连接所述图像采集模块；其特征在于，包括：采集标记图像并加载至控制计算机的图像编辑器，所述图像编辑器包括区域选取，裁剪，粘贴功能；建立图像坐标系与图像编辑器坐标系的关系，并调整所述标记图像在所述图像编辑器的位置和大小；通过所述图像编辑器的区域选取功能获取包含标记中心的初次裁剪区域；利用所述图像编辑器的裁剪功能对所述初次裁剪区域进行初次裁剪；利用所述图像编辑器的粘贴功能加载初次裁剪后的图像，并生成一个标靶坐标系；建立图像坐标系与标靶坐标系的关系，调整所述初次裁剪后的图像，并通过标靶确定所述初次裁剪后的图像中的标记中心；以所述标记中心为图像中心，通过所述图像编辑器的区域选取功能获取二次裁剪区域进行裁剪并获得最终的标记模板图像。