[发明专利]径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台无效
| 申请号： | 201010618373.7 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102537049A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 秦磊;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台。径向气浮导向模块设置于微动台，包括圆环定子与多个柔性铰链。圆环定子具有气浮导向部，微动台以气浮导向部为导向运动。多个柔性铰链均匀地固定于微动台，每一个柔性铰链分别具有固定部、柔性部以及气浮部。固定部固定于微动台，柔性部连接固定部与气浮部，气浮部面对气浮导向部，且气浮部与气浮导向部之间能够形成均匀的压缩空气层。本发明提供的径向气浮导向模块中，利用柔性铰链来实现径向气浮导向，既保证了径向气浮导向模块在水平方向的刚度，又有利于降低径向气浮导向模块的设计、加工以及其装配的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 径向 导向 模块 应用 光刻 机运 平台 | ||
【主权项】：
一种径向气浮导向模块，设置于微动台，其特征在于，所述径向气浮导向模块包括：圆环定子，具有气浮导向部，所述微动台以所述气浮导向部为导向运动；以及多个柔性铰链，均匀地固定于所述微动台，每一个所述柔性铰链分别具有固定部、柔性部以及气浮部，所述固定部固定于所述微动台，所述柔性部连接所述固定部与所述气浮部，所述气浮部面对所述气浮导向部，且所述气浮部与所述气浮导向部之间能够形成均匀的压缩空气层。
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