[发明专利]二维长行程工作台运动系统有效
| 申请号： | 201010618426.5 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102566293A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 袁志扬;陈军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维长行程工作台运动系统，包括承载台、第一方向运动装置以及两个第二方向运动装置。第一方向运动装置包括第一方向导轨、第一方向滑台以及第一方向电机。两个第二方向运动装置分别连接于第一方向运动装置的两侧。每一第二方向运动装置包括第二方向导轨、第二方向滑台以及二维电机。第二方向滑台沿第一方向与第二方向可滑动地悬浮于第二方向导轨的上方，第二方向滑台连接于第一方向导轨。二维电机连接于第二方向滑台，驱动第二方向滑台以及第一方向运动装置沿第二方向作长行程运动的同时能够在第一方向作1～2mm的小行程运动。本发明公开的二维长行程工作台运动系统，简化了机械结构，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 行程 工作台 运动 系统 | ||
【主权项】：
一种二维长行程工作台运动系统，其特征在于，包括：承载台；第一方向运动装置，包括第一方向导轨、第一方向滑台以及第一方向电机，所述第一方向滑台沿第一方向可滑动地设置于所述第一方向导轨，且所述第一方向滑台连接于所述承载台，所述第一方向电机连接于所述第一方向滑台；以及两个第二方向运动装置，分别连接于所述第一方向运动装置的两侧，每一所述第二方向运动装置包括：第二方向导轨；第二方向滑台，沿所述第一方向与第二方向可滑动地悬浮于所述第二方向导轨的上方，所述第二方向滑台连接于所述第一方向导轨，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及二维电机，连接于所述第二方向滑台，驱动所述第二方向滑台以及所述第一方向运动装置沿所述第二方向作长行程运动的同时能够在所述第一方向作1～2mm的小行程运动。
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