[发明专利]太阳能电池及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201010619182.2 申请日: 2010-12-30
公开(公告)号: CN102544195A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 陈炯;钱锋 申请(专利权)人: 上海凯世通半导体有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/265;H01L31/068;H01L31/0352
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 薛琦;朱水平
地址: 201203 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种太阳能电池的制作方法包括以下步骤:步骤S1、加速P型离子通过离子注入在P型晶片背面形成P型局部掺杂区域;步骤S2、在P型晶片正面形成N型掺杂层;步骤S3、在P型晶片正面和背面形成涂层,该涂层为钝化层和增透膜;步骤S4、在P型晶片正面形成表面电极;步骤S5、在P型晶片背面形成背面电极,该背面电极位于与该P型局部掺杂区域相对应的位置;步骤S6、将P型晶片在700--1100℃的温度下烧结,使金属电极元素和晶片中的硅共晶复合,其中所述P型替换为N型时,N型同时替换为P型。本发明还公开了一种太阳能电池。本发明采用选择性发射极和局部背场的结构,减少了表面电极和基底之间的接触电阻,提高了太阳能电池的光电转换效率。
搜索关键词: 太阳能电池 及其 制作方法
【主权项】:
一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,其包括以下步骤:步骤S1、加速P型离子并通过离子注入的方式在P型晶片背面形成P型局部掺杂区域;步骤S2、在P型晶片的表面中形成N型掺杂层;步骤S3、在P型晶片的表面和背面形成涂层,该涂层为钝化层和增透膜;步骤S4、在P型晶片表面形成表面电极;步骤S5、在P型晶片背面形成背面电极,该背面电极位于与该P型局部掺杂区域相对应的位置;步骤S6、将P型晶片在700‑‑1100℃的温度下烧结,使金属电极元素和晶片共晶复合,其中,所述的P型替换为N型时,N型同时替换为P型。
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