[发明专利]一种用于离子源的固体物质气化装置

摘要

本发明公开了一种用于离子源的固体物质气化装置，其结构包括：热电偶(1)，热电偶支撑架结构(2)，灯管引线座(3)，通水座(4)，安装法兰(5)，灯管座(6)，加热灯管(7)，支承座(8)，小弹片(9)，送气管(10)，石墨坩埚帽(11)，石墨坩埚桶(12)，绝缘柱(13)、(15)，氮化硼垫片(14)。该装置用于给装有固体物质的坩埚加热，其中坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成，使用和坩埚相连接的热电偶(1)检测坩埚的温度，根据要气化的物质不同，调节不同的温度以达到气化的目的，气化后的气体分子通过送气管(10)送出该气化装置。并安装一个通水座(4)，用于冷却。

主权项

一种用于离子源的固体物质气化装置，其特征在于：热电偶(1)、热电偶支撑架结构(2)、灯管引线座(3)、通水座(4)、安装法兰(5)、灯管座(6)、加热灯管(7)、支承座(8)、小弹片(9)、送气管(10)、石墨坩埚帽(11)、石墨坩埚桶(12)、绝缘柱(13)、(15)和氮化硼垫片(14)。