[发明专利]一种倒装芯片的封装方法有效
申请号: | 201010622813.6 | 申请日: | 2010-12-28 |
公开(公告)号: | CN102569099A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 石磊;薛彦迅;龚玉平 | 申请(专利权)人: | 万国半导体(开曼)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/02;H01L21/60 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 英属西印度群岛开曼群岛大开曼岛K*** | 国省代码: | 开曼群岛;KY |
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摘要: | 本发明一般涉及一种形成半导体器件封装体的制备方法,更确切的说,本发明涉及一种功率器件的倒装芯片的封装方法。本发明先对芯片进行封装,再整体性对芯片及塑封料实施减薄,使得芯片完成封装后所获得的封装体具备较佳的尺寸,并具备良好的散热及电气参数性能。同时,芯片与外部连接的接触端子是通过蚀刻与芯片焊接的引线框架而获得的,保证了接触端子的绝对共面性,接触端子的凸块状的引脚设计,使得利用锡膏将接触端子与电路板焊接时更简单、更牢固,以保障其与PCB的良好结合能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 芯片 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种倒装芯片的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一引线框架,在引线框架上设置有多个凸出于引线框架顶面的互连导杆;将正面设置有键合衬垫的芯片倒装焊接至所述引线框架上,其中,所述键合衬垫与所述互连导杆焊接;于引线框架的顶面进行塑封,以塑封料塑封包覆所述芯片及互连导杆;于引线框架的底面蚀刻引线框架,形成与互连导杆连接并凸出于塑封料底面的接触端子;于所述接触端子的表面设置一层金属保护层;粘贴一层薄膜至减薄后的塑封料的顶面;切割塑封料并移除薄膜形成多颗以塑封体塑封包覆所述芯片的封装体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造