[发明专利]曝光灯组与曝光机有效
| 申请号： | 201010623276.7 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102096298A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 黄彦杰;周上杰;许咏政 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/54 | 分类号： | G03B27/54;G02B5/20;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光灯组及曝光机，曝光灯组包含管状光源、内水套、外水套与管状滤光器。内水套套设于管状光源外。外水套套设于内水套外，使得内水套与外水套之间形成一空间。管状滤光器套设于内水套与外水套之间。管状滤光器的周壁表面的面积，大于该管状滤光器的外径圆周与长度的乘积。本发明能提供足够的热交换面积，以利冷却系统快速地带走管状滤光器的热量。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
一种曝光灯组，其特征在于，包含：一管状光源；一内水套，套设于该管状光源外；一外水套，套设于该内水套外，使得该内水套与该外水套之间形成一空间；一管状滤光器，套设于该内水套与该外水套之间，该管状滤光器的周壁表面的面积，大于该管状滤光器的外径圆周与长度的乘积。
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