[发明专利]用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件有效
| 申请号： | 201010624656.2 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102115875A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | E·J·利特尔;C·拉思维格 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;B65G13/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 严志军;谭祐祥 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件。一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)包括第一托架导轨(104)和设置在传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)。第一托架导轨和第二托架导轨包括沿着它们沿纵向隔开的多个辊子位置(108)。托架导轨进一步在各个辊子位置处包括一对轮(114，116)，轮是隔开的，以便在相应的辊子位置处限定承座。在各个辊子位置处的轮(114)中的至少一个是驱动轮。多个辊子(120)在第一托架导轨和第二托架导轨之间延伸。辊子具有在辊子位置处落入承座中的端部，使得可通过在辊子位置处从承座上提出辊子来从托架导轨上移除辊子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气相淀积 系统 具有 辊子 传送 组件 | ||
【主权项】：
一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)，所述传送器组件包括：设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；在所述第一托架导轨上的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，在所述辊子位置处的所述轮(114)中的至少一个是从动轮；以及，在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。
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