[实用新型]一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架

摘要

一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，用于MEMS加工，属于微纳米科学与技术领域。本实用新型由上层槽钢(1)、中层槽钢(2)、底层槽钢(3)通过长螺栓连接紧固在一起。通过调节螺母(5)在长螺栓(4)上的位置来调节上层槽钢(1)的高度。底层槽钢(3)上有方形口(8)，将压铁(9)两端支撑在方形口(8)两对边上，用螺钉(10)穿过压铁(9)拧入光学平台上的螺纹孔中，可以实现光路支撑结构与光学平台的紧固连接。上层槽钢(1)上放置带大理石衬垫的光具导轨(7)。光具导轨(7)上放置光学元件。光束由导轨(7)上放置光学元件经反射向下至被加工物件上。本实用新型结构稳定，可调节，易于实现准分子激光微加工。

主权项

一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，该支撑架由可固定于光学平台上的钢架构成，其特征在于：该钢架至少有两层结构，高度80cm以上，下层设有与可固定于光学平台螺纹孔的螺丝孔，上层设有光具导轨，且上层凸出于下层，并在凸出处设有通光孔，通光孔上设有将水平光线反射成垂直光线的反射镜。