[实用新型]一种改进的平面靶材有效
| 申请号： | 201020105164.8 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN201785479U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 唐贵民;田晓智;王克斌;胡伟华;吴细标 | 申请（专利权）人： | 深圳新南亚技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能降低成本的改进的平面靶材，包括铜质的靶材背板和正方形靶材，所述靶材的表面有通过颗粒间含有锡金属的抛光片软抛磨粘附上的锡金属层，靶材通过所述锡金属层粘接在靶材背板上。该方案使得在采购时订购不经过真空蒸镀锡金属层的金属靶材，自行将靶材在绑定之前要经过软抛磨处理，这大大降低采购成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 平面 | ||
【主权项】：
一种改进的平面靶材，包括铜质的靶材背板和正方形靶材，其特征在于，所述靶材的表面有通过颗粒间含有锡金属的抛光片软抛磨粘附上的锡金属层，靶材通过所述锡金属层粘接在靶材背板上。
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