[实用新型]用于密封扩散炉内石英管的密封装置无效
| 申请号： | 201020114119.9 | 申请日： | 2010-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN201588007U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 左凯锋;葛新华;王辉;梁飞 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;孙丽梅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及制造太阳电池形成硅片表面P-N结的扩散炉，尤其涉及一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置。本实用新型公开的一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置，包括石英炉门和隔热包，所述石英炉门和隔热包连接为一整体。本实用新型可以减少偏磷酸的冷凝，有效抑制冷凝偏磷酸对石英管和石英炉门的腐蚀，从而提高了石英管和石英炉门的使用寿命，并且延长了石英管的清洗周期；降低接液盘因冷凝偏磷酸而导致的被腐蚀甚至被穿孔的可能，从而减少了该扩散炉总体的运行成本以及延长接液盘的使用寿命，从而使得硅片因接液盘被腐蚀穿透而造成的硅片扩散不良率下降。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 密封 扩散 石英管 装置 | ||
【主权项】：
一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置，包括石英炉门和隔热包，其特征在于，所述石英炉门和隔热包连接为一整体。
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