[实用新型]光盘托盘装置

摘要

本实用新型光盘托盘装置属于光盘制造领域，真空环境下的光盘托盘装置包括上盖，短程汽缸，冷水进口，冷水出口，靶材，靶材固定座，小光盘罩，底座，光盘固定座，大光盘罩，惰性气体快插构成，在上盖上顶部正中开有一孔，在孔内安装短程汽缸，靶材安装在靶材固定座上，短程汽缸穿过靶材固定座，靶材安装在上盖内，短程汽缸的一端固定有一小光盘罩，上盖的顶部两边分别安装有一冷水进口与冷水出口，短程汽缸侧面安装有一惰性气体快插，底座中部有孔，光盘固定座固定在底座中间，底座内放有大光盘罩，光盘放入底座上的光盘固定座上，本实用新型结构简单，保证光盘准确的被溅镀，减少配件的消耗，能回收贵重金属。

主权项

一种光盘托盘装置，包括上盖，短程汽缸，电源盒，靶材，靶材固定座，底座，光盘固定座，惰性气体快插构成，在上盖上顶部正中开有一孔，在孔内安装短程汽缸，靶材安装在靶材固定座上，靶材固定座中心有孔，短程汽缸穿过靶材固定座，靶材安装在上盖内，短程汽缸侧面安装有一惰性气体快插，在上盖的顶部安装有一电源盒，底座中部有孔，光盘固定座固定在底座中间，其特征是短程汽缸的一端固定有一小光盘罩，底座内放有大光盘罩。