[实用新型]一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统有效
| 申请号： | 201020125714.2 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN201670723U | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王磊;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，包括：存放超纯水的去离子水储罐；连接于去离子水储罐并将去离子水储罐中的超纯水加压到临界压力以上的高压泵；连接于高压泵出口并将临界状态的超纯水加热到临界温度以上的加热器；连接于加热器的另一端并控制腔室入口的第一阀门；连接于第一阀门并延伸入腔室内部将超临界水喷射到涂有PI的硅片上的可动喷嘴；安装于腔室内部并盛放被腐蚀件的硅片夹盘；放置于硅片夹盘上的涂有亚胺化后PI薄膜的硅片；安装于腔室侧壁并将反应中生成的挥发性物质抽走的机械泵；安装于腔室下壁并开启或关闭排水管路的第二阀门；连接于第二阀门并将腔室中的冷凝水排出的排水口。该系统操作简单，去胶效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 临界 剥离 聚酰亚胺 薄膜 系统 | ||
【主权项】：
一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，其特征在于，包括：用于存放超纯水的去离子水储罐(1)；连接于去离子水储罐(1)并将去离子水储罐(1)中的超纯水加压到临界压力以上的高压泵(2)；连接于高压泵(2)出口并将临界状态的超纯水加热到临界温度以上的加热器(3)；连接于加热器(3)的另一端并控制腔室入口的第一阀门(4)；连接于第一阀门(4)并延伸入腔室内部将超临界水喷射到涂有PI的硅片上的可动喷嘴(7)；安装于腔室内部并盛放被腐蚀件的硅片夹盘(9)；放置于硅片夹盘(9)上的涂有亚胺化后PI薄膜的硅片(8)；安装于腔室侧壁并将反应中生成的挥发性物质抽走的机械泵(10)；安装于腔室下壁并开启或关闭排水管路的第二阀门(11)；连接于第二阀门(11)并将腔室中的冷凝水排出的排水口(12)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020125714.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
