[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201020125882.1 | 申请日： | 2010-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN201657310U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 储著明 | 申请（专利权）人： | 瑞声微电子科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanical system)麦克风，在背板与振膜之间设有绝缘层，所述绝缘层上开设有与声学孔面积重叠的通孔，形成分布式电容系统，有利于背板与振膜吸合电压的调节，由于振膜和背板间有绝缘层支撑，悬空的面积减小，以避免振膜与背板的塌陷、粘连，提高了振膜的灵敏性，有利于麦克风可靠性的提高。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于：包括带有声学孔的背板，背板上依次设有绝缘层、振膜及电极层，其中所述声学孔呈阵列排布，绝缘层上开设有与声学孔面积重叠的通孔。
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