[实用新型]一种多晶硅分解炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅分解炉，包括底盘和钟罩式双层炉体，底盘上均匀设置有十二个电极单元，每个电极单元的中心设置有纵向贯穿底盘的硅烷气体进气管，硅烷气体进气管的第一端口为气体进口，硅烷气体进气管的第二端口与钟罩式双层炉体相连通，每个电极单元包括按正方形排列的四个电极，电极纵向贯穿设置于底盘上，电极的第一端位于底盘的下方，电极的第二端位于钟罩式双层炉体内，每个电极单元中以两个电极为一组，并在该组的两个电极的第二端之间连接有一个硅芯，这种结构的分解炉大大提高了多晶硅的生产产量，扩大了生产规模，且有效降低了能耗，同时保证了生产得到的多晶硅产品的质量。

主权项

一种多晶硅分解炉，其特征在于包括带冷却水夹套的底盘和带冷却水夹套的钟罩式双层炉体，所述的钟罩式双层炉体设置于所述的底盘上，所述的底盘上均匀设置有十二个电极单元，每个所述的电极单元的中心设置有纵向贯穿所述的底盘的硅烷气体进气管，所述的硅烷气体进气管的第一端口为气体进口，所述的硅烷气体进气管的第二端口与所述的钟罩式双层炉体相连通，每个所述的电极单元包括按正方形排列的四个电极，所述的电极纵向贯穿设置于所述的底盘上，所述的电极的第一端位于所述的底盘的下方，所述的电极的第二端位于所述的钟罩式双层炉体内，每个所述的电极单元中以两个所述的电极为一组，并在该组的两个所述的电极的第二端之间连接有一个硅芯。