[实用新型]RF电源波形显示匹配装置无效
| 申请号： | 201020131778.3 | 申请日： | 2010-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201639574U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 沈阳汉锋新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H04B3/00 | 分类号： | H04B3/00;G01R13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110114 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种波形显示匹配装置，尤其涉及一种RF电源波形显示匹配装置。RF电源波形显示匹配装置，包括示波器和匹配器，示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。本实用新型的优点效果：可以随时监测到RF电源所发射到匹配器的高频信号是否稳定，以此做出对RF电源的控制器做出调整。本实用新型结构简单，实用性强，操作方便，在同轴电缆上并联传输电容，保证了示波器从匹配器得到的信号的稳定性，示波器可随时显示匹配器的波形信号。 | ||
| 搜索关键词： | rf 电源 波形 显示 匹配 装置 | ||
【主权项】：
RF电源波形显示匹配器，包括示波器和匹配器，其特征在于示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。
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