[实用新型]一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器有效
申请号: | 201020132731.9 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN201605351U | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 董淑梅;王建春;宋艳玲;原洛渭;王一强;程涛;吴斌 | 申请(专利权)人: | 西安理工晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;H05B6/22 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710077 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器,包括圆柱形聚流板,聚流板的外表面环绕有铜管,铜管的两个端口处连接有连接座,铜管的另一侧外表面设置有用于接地的接地板,聚流板的内部中心开有化料孔,围绕化料孔设置有三个拉制孔,围绕化料孔还设置有两个弦切孔或葫芦形孔,三个拉制孔之间的间隙处、两个弦切孔或葫芦形孔之间的间隙处以及拉制孔与弦切孔或葫芦形孔之间的间隙处设置有分流槽。本实用新型高频感应加热器,实现了一次能同时拉制三根硅芯,同等时间内硅芯炉的产能提高了3倍;同等规模的多晶硅生产产能大幅提升,硅芯炉数量大大减少,提高了生产效率,节省人力、物力及能源,降低了多晶硅生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 同时 拉制 三根硅芯 高频 感应 加热器 | ||
【主权项】:
一种可同时拉制三根硅芯的高频感应加热器,其特征在于,包括圆柱形聚流板(3),聚流板(3)的外表面环绕有铜管(2),铜管(2)的两个端口处连接有连接座(1),铜管(2)的另一侧外表面焊接有用于接地的接地板(4),所述的聚流板(3)的内部中心开有化料孔(5),围绕化料孔(5)设置有三个拉制孔(6),围绕化料孔(5)还设置有两个弦切孔或葫芦孔(10),三个拉制孔(6)之间的间隙处、两个弦切孔或葫芦孔(10)之间的间隙处以及拉制孔(6)与弦切孔或葫芦孔(10)之间的间隙处设置有分流槽(8)。
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