[实用新型]硅烷制备的分子筛提纯装置无效
申请号: | 201020134192.2 | 申请日: | 2010-03-18 |
公开(公告)号: | CN201686495U | 公开(公告)日: | 2010-12-29 |
发明(设计)人: | 李中元 | 申请(专利权)人: | 天津市泰亨气体有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04 |
代理公司: | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人: | 李凤林 |
地址: | 300385 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅烷制备的分子筛提纯装置,主要由纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、U管柱、4A分子筛吸附柱、5A分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封按其系统功能通过其中间连接的阀门。压力表的连接管线组装一体而构成。该装置不仅设计合理,制作简单,而且为硅烷提高纯度提供了理想的工具。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 制备 分子筛 提纯 装置 | ||
【主权项】:
一种硅烷制备的分子筛提纯装置,其特征在于:纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、U管柱、4A分子筛吸附柱、5A分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封通过其中间连接的阀门,压力表的连接管线组装一体而构成。
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