[实用新型]一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪无效
| 申请号： | 201020134455.X | 申请日： | 2010-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN201622111U | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 左爱斌;于梅 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100013*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，包括激光器、第一分光器、第一反射镜、第二反射镜、声光调制器、第二分光器、1/4波片和探测器，激光器发出的激光经第一分光器分光，透射光依次经过第一反射镜反射、第二分光器透射后作为参考光，进入探测器；激光经第一分光器的反射光依次经过第二反射镜、声光调制器调制、第二分光器后作为测量光，并经1/4波片后用来测量被测物体，被测物体漫反射的反射光返回依次经1/4波片、第二分光器反射后形成有效测量光进入探测器，与参考光干涉。本实用新型解决了当被测物体处于漫反射状态时，在增大有效测量光的同时，减少返回到激光腔的反射光，从而降低光电信号的本底噪声，提高信噪比和测量精度，确保系统稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 振动 计量 噪声 外差 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，该干涉仪包括激光器、第一分光器、第一反射镜、第二反射镜、声光调制器、第二分光器、1/4波片和探测器，激光器发出的激光经第一分光器分光，透射光依次经过第一反射镜反射、第二分光器透射后作为参考光，进入探测器；激光经第一分光器的反射光依次经过第二反射镜、声光调制器调制、第二分光器后作为测量光，并经1/4波片后用来测量被测物体，被测物体漫反射的反射光返回依次经1/4波片、第二分光器反射后形成有效测量光进入探测器，与参考光干涉。
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