[实用新型]多晶硅铸锭用坩埚无效
申请号: | 201020138875.5 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN201620207U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 陈雪 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/021 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种坩埚,特别是一种多晶硅铸锭用坩埚,包括坩埚本体,坩埚本体为石英陶瓷坩埚,在坩埚本体的内表面设置一层高纯石英玻璃内层。石英陶瓷坩埚含大量的铝和碱土金属结晶促进剂,以及加工过程中的粘污,金属杂质含量约1500-2000ppmw。坩埚本体的内表面的高纯石英玻璃内层,可以抑制坩埚内杂质向晶锭扩散,从而提高多晶硅锭的质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用坩埚,包括坩埚本体(1),所述的坩埚本体(1)为石英陶瓷坩埚,其特征是:在所述的坩埚本体(1)的内表面设置一层高纯石英玻璃内层(2)。
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