[实用新型]三氯氢硅合成炉的冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产（包括四氯化硅氢化生产三氯氢硅）过程中设备冷却装置，特别是三氯氢硅合成炉的冷却装置。技术方案是采用热管（2）间接传热，热管的吸热端（3）设置在反应区（5）内，热管的放热端（4）设置在蒸发室（6）内，蒸发室内通入液体介质，热管的放热端和吸热端之间用管板（7）完全隔开。本实用新型的有益效果：由于采用热管在中间传递热量，液体介质与反应区完全隔开，从根本上杜绝了管子一旦损坏，液体介质进入反应区内造成事故，即使某根热管损坏，也仅仅是该根热管内很少的介质进入反应区，不会产生影响和事故；本实用新型可以降低反应温度，抑制副产品SiCl4的生成，提高产品收率。本实用新型同时可产生带压蒸汽，按产量为15t/d的合成炉计算，每天产生0.25MPa低压蒸汽的量为12t，节能降耗。

主权项

一种三氯氢硅合成炉的冷却装置，其特征是包含热管（2）、蒸发室（6），热管的吸热端（3）置于合成炉的反应区内，热管的放热端（4）设置在蒸发室内，蒸发室内通入液体介质，热管的放热端和吸热端之间隔开。