[实用新型]一种线性蒸发源无效
| 申请号： | 201020140696.5 | 申请日： | 2010-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN201751427U | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 杨建忠 | 申请（专利权）人： | 彩虹显示器件股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 汪人和 |
| 地址： | 712021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种线性蒸发源，其包括若干并排排列的坩埚、热传导板及加热电极，所述热传导板接触所述并排排列的坩埚，加热电极连接热传导板，所述坩埚包括主体部及主体部上的喷嘴部，主体部具有一收容有机材料的收容空间，喷嘴部具有一连通收容空间的喷嘴。本实用新型线性蒸发源加热均匀，从而有效解决蒸发过程中，有机材料受热不均匀的问题，蒸发速度稳定，薄膜均匀性好、缺陷少，适宜于多种有机材料的真空蒸发镀膜；在蒸镀过程中由于基板与该线性蒸发源的距离较近，有机材料蒸镀范围与基板的蒸镀范围接近，在实际使用过程中相比其他蒸镀方法有机材料的浪费较少，有效提高了有机材料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
一种线性蒸发源，其特征在于，其包括若干并排排列的坩埚(1)、热传导板(2)及加热电极(3)，所述热传导板(2)接触所述并排排列的坩埚(1)，加热电极(3)连接热传导板(2)，所述坩埚(1)包括主体部(11)及主体部(11)上的喷嘴部(12)，主体部(11)具有一收容有机材料的收容空间(110)，喷嘴部(12)具有一连通收容空间(110)的喷嘴(120)。
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