[实用新型]一种等离子处理设备有效
| 申请号： | 201020143767.7 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN201655739U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海彼得氏等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 刘曾剑 |
| 地址： | 519060 广东省珠海市香洲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，所述屏蔽层包括了固定板和绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。与现有技术相比，本实用新型等离子处理设备的壳体内壁上的屏蔽层采用了绝缘氟胶板，其屏蔽绝缘效果更好，具有一定的柔韧性，而且还可以耐高温而不变形、不变质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，其特征在于：所述屏蔽层包括了固定板和绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。
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