[实用新型]多瓣石墨坩埚无效
申请号: | 201020143814.8 | 申请日: | 2010-03-29 |
公开(公告)号: | CN201756596U | 公开(公告)日: | 2011-03-09 |
发明(设计)人: | 周俭 | 申请(专利权)人: | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人: | 曲艳 |
地址: | 201600 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多瓣石墨坩埚,呈圆筒状,所述石墨坩埚的埚体由竖向的大小相同的至少三瓣瓣体及一个底盘围成,所述底盘的顶面为一弧面,所述底盘的直径占所述埚体开口部直径的比例为二分之一或以上,优选比例为三分之二,所述瓣体底部的拐角为直角或圆角,所述瓣体优选为三瓣或四瓣。本实用新型所述的多瓣石墨坩埚,改变了原有的石墨坩埚埚体结构,增加了一个底盘,同时控制底盘的直径及瓣体的数量,这样,可大幅度提高石墨坩埚的受力能力,延长石墨坩埚的寿命一至两倍,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多瓣石墨坩埚,呈圆筒状,其特征在于:所述石墨坩埚的埚体(1)由竖向的大小相同的至少三瓣瓣体(2)及一个底盘(3)围成,所述底盘(3)的顶面为一弧面。
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