[实用新型]测试机有效
| 申请号： | 201020148259.8 | 申请日： | 2010-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201637797U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 顾汉玉 | 申请（专利权）人： | 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518116 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种测试机，包括多个测试头，还包括通过数据接口与多个测试头连接的控制模块，控制模块接收测试信号，通过数据接口指示多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。上述测试机配备有多个测试头，晶圆每移动并与探针卡接触一次，可以测试与测试头数量相等的芯片，相对于每移动并与探针卡接触一次只能测试一个芯片的传统单芯片测试的测试机，大大提高了测试速度和效率。且只需要与一台探针台配合进行测试，相对于需要与两台探针台配合进行乒乓测试的测试机，能够节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 | ||
【主权项】：
一种测试机，包括多个测试头，其特征在于，还包括通过数据接口与所述多个测试头连接的控制模块，所述控制模块接收测试信号，通过数据接口指示所述多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。
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